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（1）無機廢氣成份

無機廢氣按其性質分為有機廢氣、無機廢氣及含塵廢氣，有機廢氣如甲笨、二甲笨等,無機廢氣如HCl、H2S、NOX等，含塵廢氣如各種金屬冶煉過程中的氧化粉塵、礦石加工過程中的石粉塵等等。無機廢氣主要包括硫氧化物、氮氧化物、碳氧化物、鹵素及其化合物等。

（2）無機廢氣處理技術

無機廢氣如HCl的處理一般用液體噴淋吸收處理。H2S亦用光解法處理。粉塵及其他氣體處理技術粉塵一般以旋風/布袋/靜電除塵為主，根據需要選擇不同的治理工藝。

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